氣敏傳感器用黃色氧化鎢納米線具有優良的氣敏性能。專家表示,如果將黃色氧化鎢納米線與硅納米線復合獲得硅納米線-氧化鎢納米線復合結構,其界面會形成同型異質結,在NO2氣體中,異質結中耗盡層寬度的增長對其氣敏性能的提升有著重要的作用。
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硅納米線-氧化鎢納米線復合結構的制備
有專家采用金屬輔助化學刻蝕和納米球自組裝相結合的方法在n型單晶硅片上制備出具有高度有序化陣列的硅納米線。隨后用磁控濺射法在硅納米線表面淀積一層金屬鎢薄膜,通過對其進行管式爐熱處理,制備了硅納米線-氧化鎢納米線復合結構。