摻鉬氧化鎢電致變色膜可以通過磁控濺射制備得到。專家表示，采用磁控濺射法制備Mo摻雜氧化鎢電致變色薄膜時，可以嘗試使用其他非化學計量比的WOx靶材，并進一步優化濺射參數，以得到性能更為優異的電致變色薄膜。
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此外，為了使薄膜具有更好地循環穩定性，可以在濺射時，對襯底進行加熱，從而消除氧空位。而磁控濺射制備氧化鎳電致變色薄膜時，可以用摻雜鉻、錳的鎳靶材來代替高純鎳靶材，以制得摻雜的氧化鎳薄膜，進而提升電致變色性能。同樣的，在濺射時，也可以對襯底進行加熱來消除氧空位，使薄膜具有更好地循環穩定性。
