MoO3摻雜氧化鎢電致變色薄膜可以通過直流濺射法、噴涂法以及磁控濺射法與噴涂法的結合制備得到。其中，有專家對這三種方法制備WO3電致變色膜進行研究，發現：
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http://www.tungsten-powder.com/chinese/tungsten_oxide.html
1.0 利用直流濺射法制備所得的氧化鎢-氧化鉬復合電致變色薄膜，其氧氬比為3:70時，電致變色器件的光調制范圍達到最大，為49.52%。
2.0 利用噴涂法制備的氧化鎢-氧化鉬復合電致變色薄膜，其薄膜變色能力相對較差，盡管成本低、工藝簡單。
3.0 利用磁控濺射法與噴涂法結合制備所得的氧化鎢氧化鉬復合電致變色薄膜比單一的噴涂法制得的薄膜具有更好地電致變色性能。其中，用先磁控濺射4min再噴涂的電致變色薄膜組裝的器件的光調制范圍最大，可以達到32.38%，當磁控濺射4min時，此時得到的薄膜厚度利于陽離子的嵌入與脫出。
