智能玻璃用氧化鎢薄膜可以經由磁控濺射法制備得到。對此，專家表示，當氧氬比為某一個值時，電致變色器件的光調制范圍達到最大。然后，隨著氧分壓的增大，光調制范圍逐漸減小。為什么氧分壓會影響電致變色器件的光調制范圍？
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因為氧含量過小時，靶材中的W2.9未能與氧氣完全反應生成變色性能好的非理想配比的WOx，導致電極電荷負載量在變色過程中下降，進而造成變色性能較差。反之，當氧氣流量過大時，磁控濺射的電致變色薄膜氧空位過多，對Li+的傳輸路徑造成影響，從而降低了氧化鎢薄膜的電致變色性能。
