隔熱玻璃用氧化鎢薄膜可以通過磁控濺射法制備得到。那么，你知道磁控濺射法制備氧化鎢薄膜的基本方法嗎？
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磁控濺射法制備氧化鎢薄膜的基本方法
用Ar+O2混合氣或Ar氣為工作氣體，用氧化鎢或金屬鎢為靶材，通過在靶材上施加高壓產生異常輝光放電，使帶電的Ar+離子轟擊靶材，靶材表面的原子和原子簇以離子形態被剝離出來并沉積于基底表面形成氧化鎢電致變色薄膜。
據專家介紹，磁控濺射是一種常見的鍍膜方法，具有很多優點，如成膜速度快，薄膜顆粒粒徑均勻，致密性良好，薄膜與FTO導電玻璃之間的結合性好等等。
