新型電致變色玻璃用鉬摻雜氧化鎢薄膜可以通過(guò)直流濺射的方法制備得到。對(duì)此，專家表示，氧氬比是磁控濺射過(guò)程中的一個(gè)非常重要的因素。
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http://www.tungsten-powder.com/chinese/tungsten_oxide.html
專家解釋到，濺射過(guò)程中會(huì)向真空反應(yīng)室內(nèi)通入氧氣和氬氣的混合氣體。其中，氧氣作為反應(yīng)氣體，氬氣作為工作氣體。當(dāng)氬離子把靶材上的原子轟擊出來(lái)飛向襯底的過(guò)程中，會(huì)在真空反應(yīng)室內(nèi)與氧氣反應(yīng)生成新的化合物，沉積到襯底上。化合物的組成成分對(duì)電致變色性能影響很大，而決定化合物組成成分的最關(guān)鍵因素是氧氣與氬氣的比例。因此，氧氬比是磁控濺射過(guò)程中的一個(gè)非常重要的因素。
