氧化鎢薄膜具有電致變色特性，因而可以用來生產(chǎn)智能窗，最終應(yīng)用于節(jié)能建筑領(lǐng)域，發(fā)揮隔熱保溫、節(jié)能降耗、環(huán)保無污染的優(yōu)勢，此外，其還可以防眩光、抗紫外線。據(jù)悉，WO3薄膜可以通過化學(xué)氣相沉積（CVD）法制備得到。
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化學(xué)氣相沉積包括等離子增強CVD以及氣相熱解法，反應(yīng)源一般為六羰基鎢（W(CO)6）或WF6，此方法沉積速度快，且沉積成分可調(diào)。有專家以鎢絲為加熱電阻和蒸發(fā)源，在硅片基底上沉積WO3薄膜，并形成納米結(jié)構(gòu)陣列，這種方法被稱為熱絲CVD法。
