三氧化鎢是近幾年來被廣泛用于制備智能窗的重要原材料之一。得益于WO3本身所具有的環保特性和優異的光學性能，該種新型智能玻璃被越來越廣泛地應用于建筑和汽車隔熱領域。也因此，不只是WO3薄膜，摻Ti三氧化鎢電致變色薄膜也受到了頗多關注。
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例如，有專家采用脈沖直流反應磁控濺射法在不同氧氣分壓條件下，在FTO透明導電玻璃基底上制備Ti摻雜三氧化鎢電致變色薄膜。專家們發現，氧氣分壓較低時，所制備的薄膜為欠氧狀態的三斜晶系，增加氧氣轉變為立方晶系結構。隨著氧氣分壓增大，薄膜結晶程度增加，薄膜表面顆粒由片狀逐漸凸起，顆粒尺寸減小，表面粗糙度減小，薄膜致密性增加；同時薄膜由淡藍色變為淡黃色，透過率增加，光學帶隙逐漸減小。
