三氧化鎢是制備電致變色薄膜的一種重要原材料。據悉，有專家以金屬鎢與鎢鈦合金為靶材，采用脈沖直流反應磁控濺射的方法分別制備了WO3與Ti摻雜WO3薄膜，并研究了薄膜厚度對薄膜晶體結構，表面形貌以及調制幅度、響應時間、循環壽命等電致變色性能的影響。他們發現：
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WO3薄膜著色后產生晶格應變和表面粗糙度的變化，隨著薄膜厚度增加，均先減小后增大，在薄膜厚度為250nm時最小。在相同驅動電壓下，厚度300nm薄膜褪色時由于產生的晶格應變過大導致鋰離子遷移受阻，一部分W5+無法轉變成W6+，不能完全褪色，變色幅度變小同時著色效率下降。薄膜厚度為250nm時電致變色性能最佳，有著較高的光學調制幅度和變色效率。
