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鋇鎢電極在離子束發生器中的應用

鋇鎢電極因其低功函數、高穩定性和長壽命特性,在離子束發生器中主要作為熱陰極材料,廣泛應用于電子發射和離子化過程,尤其在半導體加工、薄膜制備和空間推進領域表現出色。

中鎢智造鋇鎢電極圖片

1. 高效電子發射:鋇鎢電極具有低功函數,能在較低溫度下發射大量電子。這對于離子束發生器中的電子轟擊離子源至關重要,可提高電子流密度,增強氣體分子電離效率。

2. 高溫穩定性:鋇鎢材料在高溫環境下仍能保持穩定的化學和物理性能,適合離子束發生器長時間運行的需求。鋇的加入降低了表面勢壘,增強了熱電子發射能力,而鎢基體提供了機械強度和耐腐蝕性。

3. 延長使用壽命:相比傳統純鎢陰極,鋇鎢電極因其低功函數和抗中毒性(對殘余氣體如氧氣的耐受性)具有更長的使用壽命,減少了離子束發生器維護頻率。

中鎢智造鋇鎢電極圖片

4. 鋇鎢電極在離子束發生器中的具體應用場景:

離子束刻蝕:在半導體制造中,鋇鎢電極用于產生穩定的離子束,精確控制刻蝕過程。

離子束濺射:用于薄膜沉積,提供高能量離子流以濺射靶材。

空間推進:在離子推進器中,鋇鎢電極作為電子源,支持推進劑的電離,生成高比沖的離子束。

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