三酸化タングステンは、近年スマートウィンドウの製造に広く使用されている重要な原材料の 1 つです。 WO3 自體の環境保護特性と優れた光學特性のおかげで、この新しいタイプのスマートガラスは、建設や自動車の斷熱分野でますます広く使用されています。そのため、WO3薄膜だけでなく、Tiドープ三酸化タングステンエレクトロクロミック薄膜も大きな注目を集めています。
詳細については、以下をご覧ください。
http://tungsten-oxide.com/japanese/index.html
たとえば、一部の専門家は、パルス DC 反応性マグネトロンスパッタリングを使用して、さまざまな酸素分圧條件下で FTO 透明導電性ガラス基板上に Ti ドープ三酸化タングステン エレクトロクロミック薄膜を作製しました。専門家らは、酸素分圧が低い場合、製造されたフィルムは酸素欠乏狀態の三斜晶系であり、酸素が添加されると立方晶構造に変化するということを発見した。酸素分圧が増加すると、フィルムの結晶化度が増加し、フィルム表面の粒子が徐々に薄片から隆起し、粒子サイズが小さくなり、表面粗さが減少し、フィルムの密度が増加します。同時に、フィルムは水色から水黃色に変化し、透過率が増加し、光學バンドギャップは徐々に減少します。
