三氧化鎢摻雜薄膜溶膠凝膠法摻鈀進行正交試驗

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通過對三氧化鎢摻雜薄膜溶膠凝膠法摻鈀進行正交試驗，得到的結果如圖。正交試驗結果表明摻雜0.386g和0.1206g氯化鈀的三氧化鎢薄膜在非晶態時的薄膜表面形態較好，均勻，且透光率較高（在 80％左右），對氫氣的響應透光率變化相當（最大在20％左右），只是響應時間有差別，摻入量多使薄膜對氫的響應相對量少的較快。滴數越多，膜層越厚，受退火溫度的影響，20d的薄膜在460℃時容易龜裂，而薄膜越薄，其氫敏效應相對較差，由正交表可知大約在 16d 時的薄膜對氫的響應時間及著色程度較好。由正交表還可以看出摻鈀的薄膜在350℃還是非晶態，而由已有的研究得知純三氧化鎢薄膜的晶化溫度在350℃左右，試驗表明摻鈀以后薄膜晶化溫度提高，在460℃時薄膜已經表現出晶態，但此時也沒有完全的晶化，由此推知摻鈀薄膜開始晶化的溫度在350～460℃之間，大約在420℃，比純三氧化鎢薄膜提高了近70℃。綜合幾個因素來看，0.386g或0.1206g氯化鈀、16d溶膠涂膜、250℃退火處理得到的薄膜較好。但是在對低濃度氫進行的氫敏試驗當時，摻雜氯化鈀的三氧化鎢薄膜的著腿色不明顯，變化僅在 10％以內，這就不適用于測試低濃度的氣體。 

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