三氧化鎢薄膜的形成和生長形式

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三氧化鎢薄膜的形成和生長有三種形式：島狀形式、單層生長和層島結合形式。大多數薄膜形成和生長都屬于第一種形式，就是在基體表面上吸附的原子凝結之后，因吸附原子在其表面上擴散遷移而形成晶核。核再結合其它吸附的原子逐漸長大成小島，島再結合其它原子形成薄膜。因此，薄膜的形成一般分為凝結過程、核形成與生長過程、島形成與結合生長過程。 

凝結過程是原子、離子或分子入射到基體表面后，從吸附相到凝結相的一個相變過程。 

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