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高效NO2感測器用氧化鎢

納米結構的氧化鎢具有高比表面積和氣體吸附能力,可以製成高效NO2感測器。有專家採用磁控濺射金屬鎢薄膜和兩步熱氧化工藝在SiO2襯底上生長出氧化鎢納米線,並通過改變第二步氧化溫度,研究退火溫度對氧化鎢納米線氣敏特性的影響。專家還採用SEM、X射線衍射儀、X射線光電子能譜分析儀和TEM表徵材料的微觀特性和晶體結構,利用靜態配氣法測試氣敏性能。

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高效NO2感測器用氧化鎢圖片

結果表明,經過退火處理後氧化鎢納米線密度略微降低,300℃比400℃退火後的氧化鎢結晶性差,對應的表面態含量多,有利於室溫氣體敏感性。測試NO2的氣敏性能,經過對比得出300℃退火溫度下製備的氧化鎢納米線在室溫下表現出較很好的氣敏回應,對6ppm NO2達到2.5,對檢測極限0.5ppm NO2回應達1.37。也就是說,利用這些氧化鎢納米線製成的感測器即為高效NO2感測器。

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