專家使用金屬鎢與鎢鈦合金為靶材，採用脈衝直流反應磁控濺射的方法分別製備了未摻雜WO3薄膜與鈦摻雜三氧化鎢電致變色薄膜。研究了在製備過程中，薄膜厚度對薄膜晶體結構，表面形貌以及電致變色性能的影響，發現：
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http://www.tungsten-powder.com/traditional/tungsten_oxide.html
WO3薄膜著色後產生晶格應變和表面粗糙度的變化，隨著薄膜厚度增加，均先減小後增大，在薄膜厚度為250nm時最小。在相同驅動電壓下，厚度300nm薄膜褪色時由於產生的晶格應變過大導致鋰離子遷移受阻，一部分W5+無法轉變成W6+，不能完全褪色，變色幅度變小同時著色效率下降。薄膜厚度為250nm時，電致變色性能最佳，有著較高的光學調製幅度和變色效率。
