W03薄膜氫敏機理

三氧化鎢(WO3)是一種重要的氣敏材料，該材料摻雜貴金屬Pd、Pt后對氫氣具有較好的敏感特性，目前國內外對WO3材料的研究非常活躍。首先采用不同方法制備了多種WO3基氫敏材料，然后對其形貌結構進行了表征，并借助紫外-可見分光光度計原位測試了這些樣品的氫敏特性，最后對測試結果進行比較，分析出WO3薄膜材料對氫氣敏感的機理。

(1)分別采用磁控濺射法和溶膠-凝膠法制備了WO3基氫敏薄膜，并進行XRD、SEM測試，結果表明磁控濺射法制備的WO3、Pd/WO3薄膜未經熱處理時均為非晶態，400℃熱處理后轉變為晶態，薄膜表面平整、光滑、致密；采用溶膠-凝膠法制備的、經過熱處理的WO3、Pt/WO3薄膜均為晶態結構，表面粗糙度較大,且均呈疏松多孔結構。

(2)將部分WO3、Pd/WO3濺射膜經熱處理轉變為晶態結構。借助紫外，可見分光光度計原位測試了WO3、Pd/WO3濺射膜的氫敏特性，測試結果發現：純WO3濺射膜在室溫下對氫氣幾乎不具有響應性，而濺射法制備的Pd/WO3雙層膜在室溫下均對氫氣敏感，且非晶態雙層膜的氣敏性均好于晶態雙層膜。另外，膜厚對薄膜的氣敏性也有一定的影響，在所有濺射膜樣品中，Pd(30nm)/WO3(110nm)非晶薄膜的氫敏性能最佳,通入氫氣后，在波長500nm處其相對透過率的變化達到52.4%。

(3)借助紫外-可見分光光度計原位測試了熱處理后的WO3、Pt/WO3溶膠-凝膠膜的氫敏特性。由測試結果發現，所有溶膠-凝膠膜樣品在室溫下均對氫氣敏感，其中Pt/WO3溶膠-凝膠膜在通入4%濃度的氫氣后，在波長500 nm處其相對透過率的變化為36.6%，在波長750 nm處其相對透過率的變化達到57.1%。在氫氣濃度1%～4%的范圍內，Pt/WO3溶膠-凝膠膜對氫氣的響應性與氫氣濃度之間有近似線性關系。

(4)最后對W03薄膜的氫敏機理進行理論分析結合測試數據的對比得出結論：WO3薄膜的氣致變色現象由電子在W6+與W5+之間躍遷所導致。