多孔氧化鎢薄膜制備

隨著工業發展，空氣中二氧化氮(NO2)含量增加，空氣中的二氧化氮(NO2)已經逐步對人類的健康和安全造成影響，對NO2氣體的檢測也成為研究的熱點。多孔氧化鎢薄膜不僅對NO2具備良好的選擇性，而且具有更高的靈敏度，其多孔氧化鎢薄膜是一種較為合適的NO2氣敏傳感器。

多孔氧化鎢薄膜的制備方式也備受關注，其中直流磁控濺射法也是比較常見的一種制備方式。其主要流程為：首先采用直流磁控濺射法在Al2O3基底上淀積了一層金屬鎢薄膜；然后對其進行陽極氧化,通過在陽極氧化時引入快速熱處理工藝能成功延長了陽極氧化時間，實現了對多孔氧化鎢薄膜性能的改良。引入快速熱處理工藝能使氧化鎢薄膜具有相同的晶體結構和晶粒尺寸，且表面形貌類似,腐蝕程度隨時間增加而加深，使得制備的氧化鎢薄膜不僅靈敏度高,恢復性能好，且具備良好的穩定性。