三氧化鎢靶材的SEM分析

【中鎢在線新聞網-鎢新聞】

為了掌握不同溫度下三氧化鎢靶材的實際燒結情況，對不同溫度下燒結的樣品斷面進行了SEM掃描觀察。從圖可以看出，1000℃的時候坯體中相互接觸的粉末顆粒之間通過傳質過程形成一定程度的界面，并通過其生長使坯體產生收縮，這時樣品的晶粒之間結合強度仍然較低，塊體的致密度也不高，可以明顯的觀察到顆粒之間的各種空隙，靶材燒結程度不高。當溫度達到 1100℃的時候，空隙有所減少，晶界增加，樣品的致密程度得到一定提高，但樣品中仍有較顯著的空隙存在。1200℃下制備的靶材中，晶粒的大小和分布都比較均勻，晶粒發育完全，晶粒之間形成有力地結合，晶界進一步增大，孔隙基本變為較小且孤立的氣孔，靶材整體上已經較為致密，這表明靶材的合理燒結溫度應該就在 1200°附近。在斷裂面上還可以看到相當的一部分晶粒不是沿著晶界被破壞，而是晶粒內部被撕裂，這在一定程度上有利于提高靶材的強度，延長靶材的使用壽命。

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