蒸發法制備三氧化鎢薄膜的特點

【中鎢在線新聞網-鎢新聞】

利用物質在高溫下的蒸發現象，可以制備各種薄膜材料。蒸發法具有一些明顯的優點，包括較高的沉積速度、相對較高的真空度，以及由此導致的較高的薄膜純度等。蒸發法包括蒸發冷凝法、電子束蒸鍍法、電弧蒸發法、激光蒸發法、空心陰極蒸發法、熱蒸發法等等，其中熱蒸發法是使用比較多的方法之一。 

蒸發法制備三氧化鎢薄膜純度高、顆粒分散性好。通過改變、控制氣氛壓力和溫度，可制得顆粒尺寸不同的納米薄膜，適合合成熔點低、成分單一物質的薄膜或顆粒。但該法成本高，不適宜制備大面積三氧化鎢薄膜。

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