燒結后氧化鎢靶材的純度

【中鎢在線新聞網-鎢新聞】

陶瓷氧化鎢靶材的純度對濺射薄膜的性能影響很大，陶瓷靶材的純度越高，濺射薄膜的均勻性和批量產品質量的一致性越好。高純度要求靶材的成分純度高，雜質含量低。為了達到高純的要求，選用純度較高的氧化鎢粉體作為原料，在球磨時采用鎢柱作為磨球，以防止球磨中因磨球的磨耗而在靶材中引入雜質。經過球磨后粉體的X射線熒光光譜測試。

對粉末進行的XRF分析可以看出，粉體中雜質的類型及含量和原始粉末的標稱含量基本一致，其純度在99.9% 以上，球磨處理并沒給粉體引入明顯的雜質，其中少量的Fe和Ca雜質應該是原始粉體自帶，在球磨過程中并沒接觸含有Fe和Ca的物品。因此就原料和原料的處理環節，為制備高純度的氧化鎢靶材奠定了基礎。

靶材的高純度還要求靶材中的物相純度高，對氧化鎢靶材而言，最好是單一物相。為了達到高純的要求，我們在不同的溫度下燒結后制備的三氧化鎢靶材。實驗中經過不同燒結溫度所制備的三氧化鎢靶材的XRD圖譜。由圖中可以看出，本實驗中過不同燒結溫度所制備的三氧化鎢靶材，都是高純度、單斜晶相的三氧化鎢。樣品中沒有發現其他雜質的特征峰，也沒有發現明顯的非單斜晶相的氧化鎢特征峰。所不同的是，在1200℃時，單斜晶相三氧化鎢的各個特征峰的相對強度最高，表明在較高溫度時，靶材中晶粒發育完好，晶粒的結晶度更高，有利于獲得更為致密的高純靶材。結合XRF 的測試結果，表明我們制備的氧化鎢靶材是高純度的單斜晶相的氧化鎢靶材。

鎢制品生產商、供應商：中鎢在線科技有限公司

詳情查閱：www.tungsten-oxide.com

訂購電話：0592-5129696短信咨詢：15880262591

電子郵件：sales@chinatungsten.com

鎢圖片網站：http://image.chinatungsten.com

鎢視頻網站：http://v.chinatungsten.com

鎢新聞、價格手機網站，3G版：http://3g.chinatungsten.com

關注微信公眾號“中鎢在線”，了解每日鎢鉬最新價格