三氧化鎢靶材氧氣氣氛下的合理燒結溫度

【中鎢在線新聞網-鎢新聞】

對于濺射鍍膜用的靶材，其中非常重要的指標就是高致密度，而就陶瓷材料而言，其致密度高低與其燒結溫度緊密相關，燒結溫度的細微差異，都可能對其致密度產生顯著影響，因此確定氧化鎢靶材的燒結溫度，是制備出高致密氧化鎢靶材的關鍵環節。

文獻報道，三氧化鎢塊體材料的熔點在 1472℃左右 ，根據泰曼公式，我們可以估測其燒結溫度大概在 1180℃左右，為了尋找氧化鎢靶材的合理燒結溫度，我們在高溫顯微鏡下觀測了氧化鎢靶材的燒結行為。從室溫到 600℃過程中，塊體樣品只發生了微小的熱膨脹，幾乎觀測不到顯著的形狀變化 ；700℃時相對 600℃，樣品開始有微弱收縮，而在 700～ 1100℃的區間內，發生了明顯的收縮，對應為樣品快速致密化的階段。從 1100 ～ 1180℃的過程中，樣品有進一步收縮，但其收縮已不明顯，而到 1200℃時，樣品沒有進一步收縮，其頂部邊角已經圓化，包括圓柱樣品的底部直徑亦有顯著增加，初步認為該溫度附近，已經比較接近氧化鎢靶材的實際燒結溫度。整個高溫顯微鏡的觀測結果和我們的預算結果基本一致，考慮到儀器誤差以及該測試是在空氣中進行的原因，我們推斷樣品在氧氣氣氛下的合理燒結溫度應該在 1160 ～ 1220℃左右。

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