三氧化鎢薄膜發(fā)展史

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1969年Deb發(fā)現(xiàn)三氧化鎢薄膜在室溫下具有電致變色效應以來，三氧化鎢薄膜的光電性能研究受到了人們的廣泛關注，并相繼發(fā)現(xiàn)了其光致變色、氣致變色、光催化以及非線性電學等性質 。可見氧化鎢薄膜是一類功能十分豐富的薄膜材料，對其展開研究具有重要意義。在氧化鎢薄膜的眾多制備方法中，濺射法是一種制備高純度、高致密度薄膜的較成熟工藝，已經(jīng)在工業(yè)生產(chǎn)中得到廣泛應用。在采用濺射工藝備三氧化鎢薄膜時，需要消耗大量的三氧化鎢靶材。然而，當前國內外對三氧化鎢靶材制備的報道還比較少。國內某些實驗室制備的三氧化鎢靶材，存在生產(chǎn)成本高，致密度低、成分不純的缺點，離工業(yè)應用還有明顯的差距。目前國內應用的三氧化鎢靶材大多數(shù)為日本進口，成本很高。

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