理想能源第二代量產型MOCVD設備獲璨圓37臺應用驗證合同

上海理想能源有限公司研制開發(fā)的LED核心制造裝備MOCVD設備成功下線，并與臺灣璨圓光電公司簽訂了37臺套設備應用驗證合同，為下一步投入市場、大規(guī)模產業(yè)化奠定了基礎。

上海理想能源設備有限公司利用不到兩年的時間自主研制了具有單腔產能84片2英寸外延片的單腔體MOCVD反應腔，及3腔體252片產能的簇式多腔體自動化MOCVD系統(tǒng)。新型設備稱是依據工藝驗證結果和客戶反饋，在第一代原型機的基礎上開發(fā)出第二代量產型MOCVD設備，單腔一次可生產84片2英寸外延片，超過主流進口設備。量產機型在產出率、可靠性、運行經濟性等方面都有了顯著的提升。

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